Systeme mit großer Apertur

ZYGOs Interferometer mit großer Apertur ermöglichen das Messen von zwei unabhängigen Kavitäten: die der nominellen Apertur des Interferometers (102 mm) und eine der vier Aperturen der Strahlaufweitungen (305 mm, 458 mm, 610 mm und 813 mm). Mit dem richtigen Zubehör ausgestattet, können mit den Systemen mit großer Apertur sowohl Oberflächenform als auch transmittierte Wellenfront gemessen werden.

Unsere Systeme mit großer Apertur bestehen aus:

• Interferometer-Grundgerät (Verifire™ XPZ, QPZ, ATZ, MST oder Grundgerät für Wellenlängenschiebung)

• MUX Cube (schaltbarer Spiegel)

• Strahlaufweitung (erhältlich mit 305 mm, 458 mm, 610 mm oder 813 mm Apertur)

• Phasenschieberaufnahme (PMR) (für Systeme mit 305 mm und 458 mm Aperturen; 610 mm und 813 mm Aperturen verwenden die Grundgeräte für Wellenlängenverschiebung und benötigen keine PMR)

• Referenzoptiken - abhängig von der optischen Konfiguration benötigte Übertragungs- und Referenzflächen

• Befestigungen - für Referenz- und Testoptiken

Die Komponenten der Systeme mit großer Apertur können separat zum Interferometer-Grundgerät erworben werden. Bitte wenden Sie sich an Ihren AMETEK Germany Verkäufer, der die Konfiguration des Systems auf Ihre individuellen Bedürfnisse abstimmen kann.

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