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Laser Interferometer Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  New!

Spezielle Applikationen Interferometer Zubehör Verifire™ MST Verifire™ XL Großen Aperturen UV und IR Interferometer Auf- und Umrüstungen

Important Features:

• Resolves mid-spatial frequency surface features with unprecedented precision

• QPSI™ and DynaPhase® technologies provide reliable measurements in production and extreme environments

• Industry-leading reliability with unmatched 3-year laser warranty


Verifire™ HDX Ultrahoch auflösende Interferometrie für eine präzise Charakterisierung im mittleren Raumfrequenzband

Verifire HDX Interferometer System
Verifire™ HDX Interferometersystem

Das neue Verifire HDX-Interferometer von ZYGO eignet sich für die Inhaltscharakterisierung von optischen Höchstleistungskomponenten und -systemen im mittleren Raumfrequenzband. Das System umfasst all die großartigen Funktionen des beliebten Verifire HD wie z. B. QPSI, und einen langlebigen, stabilisierten Laser. Ergänzt wird durch wesentliche Weiterentwicklungen. Dazu gehören eine neue erstklassige Bildgebung und Auflösung für eine hohe Instrument Transfer Function (ITF), eine ausgezeichnete Charakterisierung von Inhalten im mittleren Raumfrequenzband und bei Abweichungen mit hoher Flächenneigung sowie die DynaPhase®-Erfassungstechnik von ZYGO, mit der Probleme aufgrund von Vibrationen ausgeschaltet werden können und Präzisionsmessungen in fast jeder Umgebung ermöglicht werden.

Für eine optimale
Auflösung und Leistung

Inhalte im mittleren Raumfrequenzband bei Messungen von optischen Flächen
Inhalte im mittleren Raumfrequenzband bei Messungen von optischen Flächen
Das Verifire HDX System verfügt über ein brandneues optisches Design, das so entwickelt wurde, dass eine pixelbegrenzte Leistung für den 3,4k × 3,4 k-Sensor (11,6 Megapixel) unterstützt wird. Dies ermöglicht eine verbesserte Bildgebung mit Flächenmerkmalen, die mit Interferometern niedrigerer Auflösung bisher nur schwer zu erkennen waren. Diese ultrahohe räumliche Auflösung geht nicht auf Kosten der Geschwindigkeit. Das System bietet eine Bildrate von 96 Hz bei voller Auflösung. Es ist damit 10 Mal schneller als andere hochauflösende Interferometer, die aufgrund von Rauscheinwirkungen bei der deutlich langsameren Messung eine begrenzte Funktionsfähigkeit aufweisen.

Power Spectral Density (PSD) und Diffraktions Auswertemöglichkeiten vervollständigen die Auswertefunktionen des Verifire HDX Systems im mittleren Raumfrequenzband. Sie ermöglichen die Analyse umfangreicher Flächencharakteristiken über eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche, auf der detailreiche Messprotokolle erstellt werden können.

Ausgereifte Referenzoptiken und Zubehör

UltraFlat and UltraSphere λ/40 Transmission Elements
λ/40-Übertragungselemente UltraFlat und UltraSphere
Die Referenzoptiken UltraFlat™ und UltraSphere™ sind mit λ/40 PVr oder besser zertifiziert und werden unter strenger PSD-Signaturkontrolle hergestellt, um Inhalte im mittleren Raumfrequenzband zu minimieren. Diese hochpräzisen Referenzoptiken werden für den Gebrauch mit dem Verifire HDX Interferometer empfohlen, um das vollständige Funktionsspektrum des Systems zu nutzen. UltraFlat-Transmissionsoptiken wurden genau für dieses hohe Maß an Präzision gefertigt, ob sie nun vertikal oder horizontal ausgerichtet sind. Dies ermöglicht eine höhere Flexibilität beim Testaufbau.

Mx™ Software

Mx Software Screen
Mx-Software, Zernike Analyseergebnisse
Die ZYGO-eigene Mx™ Analyse-Software bietet eine Vielzahl von Funktionsmerkmalen sowie eine umfassende Datenanalyse mit Zernike, Slope, PSD/MTF/PSF, Prismenwinkel, Corner Cube und vielem mehr. Dieses funktionsreiche Softwarepaket zur Gerätesteuerung, Datenerfassung und Datenauswertung enthält die Tools zur Integration in Herstellungsprozesse, ermöglicht Automatisierungen und meldet kritische Charakteristiken im mittleren Raumfrequenzband. Über eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche werden ein effizienter Betrieb und eine einfache Lernkurve erzielt. Des Weiteren bietet es Python-Skriptfunktionen sowie einen Remote-Zugang für maximale Flexibilität und einfache Integration in komplexe Testaufbauten.

Instrument Transfer Function – Was ist das und warum ist es wichtig?

Optischen Flächen werden seit vielen Jahren Formfehler nachgesagt, aber durch wachsende Anforderungen an die Leistung optischer Systeme wächst auch die Bedeutung der Kontrolle von Charakteristiken im mittleren Raumfrequenzband. Die strenge Kontrolle von Charakteristiken im mittleren Raumfrequenzband ist notwendig, um die Lichtstreuung zu verringern und die optische Effizienz für Höchstleistungsanwendungen zu verbessern.

UltraFlat and UltraSphere λ/40 Transmission Elements
Phasenmessdaten eines gechirpten Artefakts mit Stufen, die radial in ihrer Frequenz abweichen, eine konstante Stufenhöhe von 40 nm und das Profil eines gechirpten Artefakts (unten) zeigen eine Verringerung der gemessenen Stufenhöhe bei Erhöhung der Raumfrequenz. (Bild zum Vergrößern anklicken)
Deterministische Poliertechniken mit Kleinstwerkzeugen, die bei der Korrektur von Formfehlern besonders effizient sind, können auch unerwünschte Inhalte im mittleren Raumfrequenzband auf einer optischen Fläche freilegen. Je nach Frequenz und Neigung der Flächencharakteristiken können herkömmliche Interferometersysteme – die für die Messung der Oberflächenform sehr gut geeignet sind– höherfrequente Flächencharakteristiken nicht messen. Grund dafür ist die begrenzte Auflösung. Die fehlende Auflösung bedeutet, dass Details mit höherer Frequenz abgeschwächt werden (siehe rechte Abbildung) und in den Messergebnissen überhaupt nicht auftauchen.

An dieser Stelle kommt die „Instrument Transfer Function“ (ITF – Übertragungsfunktion des Messsystems) ins Spiel. Ein Interferometersystem schwächt Flächenformationen basierend auf ihrem Design (optisches Design, Kamera, Wellenlänge) ab, wodurch die ITF der Fläche bestimmt wird ... also die Fähigkeit, den Raumfrequenzband einer optischen Fläche zu messen. Das Verifire HDX System hat mit seinem hochauflösendem 3,4k × 3,4k-Sensor und dem optimierten optischen Design eine höhere ITF als kommerziell erhältliche Interferometersysteme. Dies macht es zu einem unschätzbaren Hilfsmittel für die zuverlässige Messung und Quantifizierung der Charakteristiken von optischen Flächen im mittleren Raumfrequenzband. Dadurch können Designer optische Flächen mit einem höheren Präzisionsgrad zuverlässig angeben und ITF-Testanforderungen definieren, um Systemleistungsziele zu erreichen.

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