Verifire™ MST

Der Verifire™ MST erlaubt erstmals die Vermessung von planparallelen Mehrfach-Kavitäten (Oberflächen) ohne spezielle Probenpräparation. Mit nur zwei Messungen erhält man so von einer planparallelen Platte sämtliche Daten: Vorderseite, Rückseite, Homogenität sowie physikalische und optische Dickenvariation.

Standard-Interferometer erfassen die Wellenfrontvariation zwischen einer Referenz- und einer Messfläche (Einfach-Kavität mit zwei Oberflächen). Kommt eine weitere Fläche hinzu, wie bei planparallelen Oberflächen (drei Messkavitäten), werden weitere Interferenzmuster erzeugt, die eine Datenaufnahme mit mechanisch phasenschiebenden Interferometern unmöglich macht. Die Auswertung von solchen überlagerten Interferogrammen ist nun mittles Wellenlänge schiebenden Laserquellen und dem neu entwickelten Zygo-FTPSI Auswerteverfahren (Fourier Transform Phase Shifting Interferometry) möglich.

Der VerfiFire MST kann so für Applikationen genutzt werden, die zwei, drei oder sogar vier (planparallele Platte mit Referenzfläche) Messkavitäten beinhalten. Dabei unterdrückt das FTPSI Verfahren zusätzlich Artifakte, welche beim Standardverfahren die Messgenauigkeit negativ beeinflussen würden.

Merkmale:

• Gleichzeitiges Messen von zwei Oberflächen, dreifacher und sogar vierfacher Kavität.

• Effektive Homogenitätsmessung.

• Messen der Proben Frontseite, der optischen Dickenvariation sowie der Rückseite.

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