Verifire™ XL Senkrechter Interferometer-Messplatz mit großer Apertur

Animierter Vergleich einer PSI (Phase Shifting Interferometry) – Messung mit vibrationsbedingten Artefakten und der gleichen Oberfläche vermessen mit QPSI Technologie – ohne störende Streifen.

Integrierte Planmessplatte

Das Verifire XL Interferometer ist ein separater Messplatz für das schnelle und zuverlässige Vermessen großer, ebener Oberflächen bis 300 mm Durchmesser, wie z. B. Oberflächen-Reflektoren, Fenster, Tragkörper sowie Halbleiter-Wafer oder Wafer-Chucks.

Das vollintegrierte Verifire XL überzeugt vor allem durch seine einfache Bedienung. Es verfügt über einen stabilen Kipp-/Neigetisch der ein wiederholtes Platzieren auch schwerer Proben ohne zusätzliche Haltevorrichtung erlaubt. Dank seiner – inklusive der integrierten Schwingungsisolation – kompakten Größe benötigt das Messgerät nur minimalen Stellplatz.

Erschütterungsstabil

Das Verifire XL System arbeitet mit Zygos eigener, patentierter QPSI Messtechnologie, die zuverlässige, hochpräzise Messungen auch unter dem Einfluss von Vibrationen ermöglicht. QPSI erlaubt eine echte Null-Streifen Messung der Oberflächenform ohne den typischen negativen Einfluss von produktionsbedingten Vibrationen.

Präzise Messtechnik

Die hochgenaue Planmessplatte im Verifire XL System ist für den vertikalen Einsatz optimiert und enthält zusätzlich einen Kalibrierdatensatz für die Gesamtfläche, um noch höheren Anforderungen an die Messgenauigkeit gerecht zu werden.

Mx™ Software

Zygos benutzerfreundliche Mx-Software bietet umfangreiche Messmöglichkeiten sowie eine Vielzahl an Tools zur Darstellung und Analyse von Oberflächendaten. Die Mx Software beinhaltet jetzt "Smart Averaging" Technologie, mit der sich in kürzerer Zeit verlässliche Messungen durch Mittelung vornehmen lassen. Die eingebaute statistische Prozessregelung (SPC) bietet leistungsfähige Funktionen für Anwendungen in der Produktion.

Key Features:

• 300 mm (12") Aperturdurchmesser

• Kompaktes Design, geschlossenes System

• Schneller Probenwechsel, leichte Justage

• Einfacher Aufbau und effiziente Bedienung

• Eingebaute, vorjustierte Planmessplatte

• Integrierte Vibrationsisolierung und QPSI Technologie für zuverlässige Messungen in Produktionsumgebungen

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