Optische 3D Profiler Wählen Sie den passenden optischen 3D Profiler für Ihre Anwendung

Die optischen Profilometer von ZYGO basieren auf der Weißlichtinterferometrie. Sie bieten schnelle, berührungslose und hoch präzise 3D Oberflächen Messtechnik. Die optischen 3D Profilometer von ZYGO werden je nach Ausstattung mit eigenentwickelten Software Paketen ausgestattet. Umfangreiche und moderne Datenauswertung bieten alle ZYGO Software Plattformen an. Welches ZYGO System für Ihre Anwendung die richtige Wahl ist hängt auch von Ihren Anforderungen hinsichtlich Präzision, Geschwindigkeit, Automatisierung und von der gewünschten Anpassungsfähigkeit ab.

Bitte wählen Sie das für Ihre Anwendung passende NewView™-System aus unserer Übersicht.


Modell:	ZeGage Optische Profiler	ZeGage Plus Optische Profiler	NewView 7300 Profilometer	NewView 8000 Profilometer	Nexview Profilometer	Nomad Transportable Optische Profiler Neu!
Configuration:	Tischgerät		Messplatz			Transportable
Basistechnologie:	CSI*				CSI & PSI**	CSI*
STR:	3.5 nm	0.15 nm	–	0.12 nm	0.08 nm	0.12 nm
Vertikale Scan- geschwindigkeit:	≤ 35 μm/s	≤ 73 μm/s	≤ 135 μm/s	≤ 96 μm/s		≤ 15 μm/s
Max. Step Height:	≤ 20 mm					≤ 95 µm
Zoom-System:	Fest		Automatisch			Fest
Z Tisch:	Automatisch					Motorisiert
X/Y Tisch:	Manuell or Automatisch (optional)				Automatisch	N/A
Messfeld:	≤ 9 mm		≤ 14 mm*	≤ 16 mm		≤ 12 mm
Software:	Mx		MetroPro	Mx

Hinweis:	STR (Surface Topography Repeatability) Quantifizierung der Messmittelfähigkeit nach ISO 25178-604. STR kann durch Filterung und Messmittelungen verbessert werden. * CSI = Coherence Scanning Interferometry PSI = Phase Shifting Interferometry

Sondersysteme

APM650™ - The APM650™ packaging metrology system provides automated measurement of panel-based PCBs and other advanced packaging applications. It provides both 2D & 3D measurements with sub-nanometer vertical precision and sub-micron lateral precision. The APM650 system features a large X/Y stage which accommodates panels up to 650 x 650 mm.

NewView™ MPT™ - Das NewView™ MPT von ZYGO mit dem robusten Gehäuse ermöglicht es, Präzisionsteile direkt in der Fabrik zu messen: Das Gehäuse schützt die Oberflächenprofiler der NewView™ 7000-Produktlinie sicher, erlaubt jedoch unkompliziertes Warten.

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