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Optische 3D Profiler ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 7300 NewView™ 8000 Nexview™ Nomad™  New! APM650™  New! NewView™ MPT


Optische 3D Profiler Wählen Sie den passenden optischen 3D Profiler für Ihre Anwendung

Die optischen Profilometer von ZYGO basieren auf der Weißlichtinterferometrie. Sie bieten schnelle, berührungslose und hoch präzise 3D Oberflächen Messtechnik. Die optischen 3D Profilometer von ZYGO werden je nach Ausstattung mit eigenentwickelten Software Paketen ausgestattet. Umfangreiche und moderne Datenauswertung bieten alle ZYGO Software Plattformen an. Welches ZYGO System für Ihre Anwendung die richtige Wahl ist hängt auch von Ihren Anforderungen hinsichtlich Präzision, Geschwindigkeit, Automatisierung und von der gewünschten Anpassungsfähigkeit ab.

Bitte wählen Sie das für Ihre Anwendung passende NewView™-System aus unserer Übersicht.


ZeGage Optische Profiler ZeGage Plus Optical Surface Profiler NewView 7300 Optische Profiler NewView 8000 Optische Profiler Nexview Optische Profiler Nomad Transportable Optische Profiler
Modell: ZeGage
Optische
Profiler
 
ZeGage Plus
Optische
Profiler
 
NewView
7300

Profilometer
 
NewView
8000

Profilometer
 
Nexview
Profilometer
 
 
Nomad
Transportable
Optische
Profiler Neu!
Configuration: Tischgerät Messplatz Transportable
Basistechnologie: CSI* CSI & PSI** CSI*
STR: 3.5 nm 0.15 nm 0.12 nm 0.08 nm 0.12 nm
Vertikale Scan- geschwindigkeit: ≤ 35 μm/s ≤ 73 μm/s ≤ 135 μm/s ≤ 96 μm/s ≤ 15 μm/s
Max. Step Height: ≤ 20 mm ≤ 95 µm
Zoom-System: Fest Automatisch Fest
Z Tisch: Automatisch Motorisiert
X/Y Tisch: Manuell or Automatisch (optional) Automatisch N/A
Messfeld: ≤ 9 mm ≤ 14 mm* ≤ 16 mm ≤ 12 mm
Software: Mx MetroPro Mx
Hinweis:  STR (Surface Topography Repeatability) Quantifizierung der Messmittelfähigkeit nach ISO 25178-604.  STR kann durch Filterung und Messmittelungen verbessert werden.
* CSI = Coherence Scanning Interferometry
   PSI = Phase Shifting Interferometry

Sondersysteme

APM650™ - The APM650™ packaging metrology system provides automated measurement of panel-based PCBs and other advanced packaging applications. It provides both 2D & 3D measurements with sub-nanometer vertical precision and sub-micron lateral precision. The APM650 system features a large X/Y stage which accommodates panels up to 650 x 650 mm.

NewView™ MPT™ - Das NewView™ MPT von ZYGO mit dem robusten Gehäuse ermöglicht es, Präzisionsteile direkt in der Fabrik zu messen: Das Gehäuse schützt die Oberflächenprofiler der NewView™ 7000-Produktlinie sicher, erlaubt jedoch unkompliziertes Warten.

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